1、鐘罩式氣體流量標準裝置
鐘罩裝置是一種標準的的容積式標準裝置，其特點是裝置體積大，工作壓力較低，氣體濕度對流量校準的影響較大，裝置的操作相對較復雜。因此，鐘罩裝置只適用于檢定/校準壓力不高、流量范圍不大的流量計，并且只能在實驗室進行，使用要求受限較大。目前我國最大的鐘罩式氣體流量標準裝置鐘罩容積為10m3，流量范圍為2000m/h，裝置擴展不確定度為0.1%（k=2）。
2、PVTt法氣體流量標準裝置
PVTt法是通過測量一定時間間隔內，氣體進入或流出容積的容器罐，以及壓力和溫度，根據理想氣體狀態方程計算，復現氣體質量流量的標準裝置。PVTt法氣體流量裝置測量精度高、設備簡單，濕度影響小，但裝置結構對熱力學溫度和絕對壓力的測量要求很高，標準容器內氣體要達到穩定狀態的時間較長。
活塞式裝置則是利用該原理，采用活塞和缸體組成一個充滿氣體的腔體，在工作時，需保持活塞缸的密閉性，同時控制活塞在缸體內沿著一定方向迅速運動，使氣體均勻地進入或排出活塞和缸體組成的腔體。通過活塞缸的內截面面積、活塞移動的距離以及活塞移動的時間，就可以計算出標準流量。該裝置具有流量點易調節、穩定性高、重復性好等優點，適用于小微氣體流量的測量。我國某計量研究機構研制了一套活塞式氣體小流量標準裝置，該裝置可檢測流量范圍為（5mL-50L）/min，擴展不確定度不低于0.19%（k=2）。
3、mt法氣體流量標準裝置
mt法即直接測量質量和時間的方法，是測量氣體質量流量最直接的方法，其精度也最高。因為質量和時間均屬于七個基本量之一，量值可得到最直接的傳遞。該方法需要儲氣裝置質量相對氣體質量較大，提高氣體占總稱量的比重才能提高流量計量的準確度；為了提高氣體流動的穩定性，需在上游安裝臨界節流裝置；校準小流量時，需要提高氣體的壓力。該標準裝置最大優點在于可以直接得到質量流量，但因為轉向系統降低了裝置的可靠性。
4、標準流量計法氣體流量標準裝置
標準流量計法氣體流量標準裝置是計量領域中常用的傳遞標準裝置。可以用作標準表的通常有臨界流音速噴嘴、渦輪流量計、氣體羅茨流量計和超聲流量計等等。在小微流量標準流量計中，層流流量計作為標準表也越來越受計量檢測單位的重視，其精度高、耐高壓、體積小、結構簡單、系統裝置操作簡易，是一個高精度的小微氣體流量標準裝置。
